高エネルギーイオンビームを用いたナノ・マイクロ構造創製技術とその応用

抄録

高エネルギーイオンビームの「ものづくり」への利用を考える．高エネルギーイオンは，物質との相互作用で直線的な飛跡に沿い，高い線エネルギー付与（Linear Energy Transfer : LET）と，飛跡終端付近でブラッグピークをもつという大きな特徴を有し，照射条件にも，ほかの放射線にはない際立った多様性をもつ．高エネルギーイオンビームをナノメートルレベルで制御するマイクロビーム技術は多様で新奇な微細構造を創出でき，情報通信や医療分野などで役立つ「ものづくり」技術となりうる．ただこの実現には，イオンビームと物質との相互作用の基礎的・系統的知見の蓄積，それを基礎とした材料，ビーム技術，および加工技術など，多分野の研究者による有機的な取り組みが必要である．