東京大学大学院工学系研究科
2010 年 79 巻 4 号 p. 293-297
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電子顕微鏡は，物質・材料の局所構造評価法として強力な手法であり，近年の球面収差補正技術の急速な進歩とも相まってその分解能は格段に向上している．本稿では，特にその進展が著しい走査型透過電子顕微鏡法（STEM）に着目し，基本的な結像や分光分析の原理を実際の観察例とともに述べる．
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