2010 年 79 巻 5 号 p. 408-412
安全かつ豊富なシリコンを原料とするシリコン系太陽電池は,太陽電池の大規模普及に向けて今後ますます重要性を増すと予想され,薄膜シリコン太陽電池にも大きな期待が寄せられている.しかし,シリコン系材料は一般に光吸収係数が小さいため,高効率化・低コスト化に向けて,テクスチャー構造をはじめとする,いわゆる光マネジメント技術により太陽電池内部での光吸収を増やす必要がある.本稿では,薄膜シリコン太陽電池における光マネジメント技術について概説し,陽極酸化プロセスを利用した筆者らの研究を紹介する.