基礎講座
電気測定におけるノイズ対策の基礎
2011 年 80 巻 6 号 p. 514-518
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2011 年 80 巻 6 号 p. 514-518
一般的に再現性の良い測定評価結果を得るためには，ノイズなどへの考慮・対応が必要になる．ここでは，半導体評価で主要な測定項目である微少電流と容量について，通常の測定環境で重要となる基本的な要素について考察する．測定装置自体，接続方法などのそれぞれの特徴や限界への理解を含めてより良い再現性を得る方策を解説する．
