解説
フェムト秒レーザーが切り開く新しい微細加工技術
2012 年 81 巻 5 号 p. 380-385
詳細
2012 年 81 巻 5 号 p. 380-385
フェムト秒レーザーを用いた加工においては，照射レーザーフルーエンスに応じてさまざまな現象が誘起される．熱影響が無視できるアブレーション加工，サブミクロンの微細周期構造形成，結晶構造の相変化など，産業的にも有益な加工方法として注目されている．直接加工においては回折限界により空間分解能が制限されるものの，深さ方向においてはナノオーダの加工が可能である．また，ナノ微粒子や薄膜コーティングなどを併用したナノ加工技術も開発されており，新たなものづくり技術として興味深い．
