応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
走査電子顕微鏡の研究開発への応用―解析事例,こんなことに使われる―
米光 恭子
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ジャーナル 認証あり

2012 年 81 巻 5 号 p. 425-428

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抄録

広く普及している走査電子顕微鏡(SEM)について,前号にて原理と像を取得するメカニズムについて紹介した.本稿では,実際のユーザーの立場からSEMの観察事例を通じて利用分野を紹介する.

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© 2012 公益社団法人応用物理学会
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