酸化物薄膜トランジスタ

抄録

新しい半導体である酸化物半導体の特徴について，シリコンと比較しながら解説する．まず，薄膜トランジスタ（TFT）の動作原理を説明し，シリコンと酸化物TFTの移動度や欠陥密度の違いを明らかにする．特にアモルファス酸化物TFTの移動度が高いこと，欠陥密度が低いこと，オフ電流が低いことを，強いイオン結合性とそれに伴う電子構造に関連付けて説明する．