応用物理
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最近の展望
原子層エレクトロニクスに向けたカルコゲナイド系層状物質の基礎物性と薄膜形成手法
上野 啓司塚越 一仁
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2014 年 83 巻 4 号 p. 274-278

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抄録

グラファイトの単位層であるグラフェンが示す興味深い物性についての研究が活発に行われているが,その一方で,同様な積層構造をもつほかの多くの層状物質も注目されている.グラフェンと同様に,単層化された試料が示す新物性が探索されるとともに,グラフェンにはないバンドギャップをもつ層状物質半導体の単結晶薄膜を用いて,電界効果トランジスタを作製する研究も活発に行われている.本稿ではカルコゲナイド系層状物質について,種類,物性,単層膜/薄膜形成手法を解説するとともに,電界効果トランジスタの作製と評価に関する我々の研究成果を紹介する.

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© 2014 公益社団法人応用物理学会
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