研究紹介
ナノ精度表面製造法とX線集光ミラー
2016 年 85 巻 11 号 p. 957-961
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2016 年 85 巻 11 号 p. 957-961
精密加工というと，通常，切削，研削を行う大型の工作機械を思い浮かべるであろう．しかしながら，精密加工でも1nmレベルになると機械加工に代わり，イオンビーム，プラズマ，電気化学反応など，さまざまな物理化学現象が利用されている．本稿では，筆者が開発してきた，ナノ精度で表面を作製するための加工，計測，転写技術を説明し，その応用であるX線集光用回転楕円ミラーについて紹介する．
