研究紹介
ゲート変調イメージングによる有機TFTアレイの一括評価技術
2016 年 85 巻 12 号 p. 1037-1041
詳細
2016 年 85 巻 12 号 p. 1037-1041
有機半導体内にキャリヤを蓄積すると，その光透過（反射）率はごくわずかに変化する．本稿では，イメージセンサによりこのような微小変化を捉え，動作する有機薄膜トランジスタ（TFT）アレイの性能分布をイメージ化し高速・一括に評価する，ゲート変調イメージング法について解説する．印刷技術を用いたデバイス製造技術（プリンテッドエレクトロニクス技術）への応用に向けて，多数の有機TFTで構成されたアクティブバックプレーンの性能分布を非破壊・高速・一括評価した実証実験を紹介する．
