応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
キャリヤ濃度・移動度測定のコツ
松浦 秀治
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ジャーナル 認証あり

2016 年 85 巻 7 号 p. 601-605

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抄録

半導体基板およびエピタキシャル膜の基礎的な電気特性の中では,抵抗率,伝導型(p型またはn型),多数キャリヤ濃度と多数キャリヤ移動度が重要です.これらを測定するために,ホール効果測定を用います.本稿ではホール効果測定の簡単な説明と,測定結果の検証および解析方法に関して解説します.

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© 2016 公益社団法人応用物理学会
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