キャリヤ濃度・移動度測定のコツ

抄録

半導体基板およびエピタキシャル膜の基礎的な電気特性の中では，抵抗率，伝導型（p型またはn型），多数キャリヤ濃度と多数キャリヤ移動度が重要です．これらを測定するために，ホール効果測定を用います．本稿ではホール効果測定の簡単な説明と，測定結果の検証および解析方法に関して解説します．

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