国立研究開発法人産業技術総合研究所 先進パワーエレクトロニクス研究センター ダイヤモンドデバイス研究チーム
2018 年 87 巻 10 号 p. 739-744
(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)
(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)
ダイヤモンドデバイス動作時の欠陥の影響，基板・エピタキシャル成長膜品質評価のために，「どこに」「どのくらい」「どういう種類」の欠陥があるかを評価する要請が増えている．本稿では，どういった手法で，どういう欠陥を見ることができるようになっているか，どのくらいの欠陥があるのかについて紹介する．
すでにアカウントをお持ちの場合 サインインはこちら
