研究紹介
光で動くアモルファス窒化炭素薄膜
2018 年 87 巻 4 号 p. 282-286
詳細
2018 年 87 巻 4 号 p. 282-286
アモルファス窒化炭素（a-CNx）薄膜は，高硬度，低摩擦係数がよく知られるところであるが，作製方法や条件で物性値が大きく異なるという特徴を有している．電気的には半導体から絶縁体まで，光学バンドギャップは0から3eVを超える値まで報告があり，多彩な特性を見せる．本稿では，最近，反応性高周波マグネトロンスパッタ法で作製したa-CNx薄膜において見つかった，可視光をダイレクトに力学的エネルギーに変換する光誘起変形について紹介する．
