研究紹介
大容量SiCパワーデバイスに向けた結晶成長技術の開発
2021 年 90 巻 11 号 p. 675-678
詳細
2021 年 90 巻 11 号 p. 675-678
太陽光発電や蓄電，風力発電，電動車など，低炭素社会を支えるさまざまな技術において，電圧や周波数を変換するためのパワーデバイスが活躍している．炭化ケイ素（SiC）単結晶は，高い絶縁破壊強度などの優れた材料特性を有しており，SiCを材料としたパワーデバイスは特に高電圧用途で高い省エネ性能を発揮する．SiCパワーデバイスはさまざまな応用用途で実用化が始まっているが，さらなる適用・普及拡大に向けて，SiCウェーハの品質改善や低コスト化，大口径化が望まれている．本稿では，SiCパワーデバイスの大容量化や適用拡大に向けたSiC結晶成長に関する研究を紹介する．
