株式会社リガクX線研究所
株式会社リガク応用技術センター
2022 年 91 巻 10 号 p. 635-639
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さまざまな機能性薄膜材料を対象としてX線回折測定法は幅広く活用されています．また，多くの測定技法に対応でき，自動化されたX線回折装置も市販されています．本稿では，薄膜試料を対象としたX線回折測定法について，その装置構成や測定技法の基礎について解説します．
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