絶縁体表面の構造解析

抄録

固体表面において絶縁体表面の実験的研究は，チャージアップ現象が生じるため電子線，イオンなどの荷電粒子を利用しにくいことが知られています．そこで，電気的に中性な原子ビームを用いた絶縁体表面観察についてご紹介します．本稿では，低速原子散乱分光法による絶縁体表面解析について説明します．