電子デバイスの電気的雑音測定とその環境構築

抄録

電子デバイス向け電気特性評価の環境構築と，少し高度な電気的雑音について「計測」と「除去」という観点から解説します．また，計測自動化や極低温環境に関して，トランジスタや不揮発性メモリにおける雑音計測の具体例を示しながら紹介します．