ココだけのハナシ
半導体を支えるプラズマエッチング装置
黎明(れいめい)期の社内装置開発の話
ジャーナル
フリー
2022 年
91 巻
9 号
p. 573-577
詳細
-
発行日: 2022/09/01
受付日: 2022/03/07
J-STAGE公開日: 2022/09/01
受理日: 2022/04/12
早期公開日: -
改訂日: -
-
訂正情報
訂正日: 2022/09/08
訂正理由: 誤記訂正
訂正箇所: 書誌事項,引用文献
訂正内容:
〚著者情報〛
誤:富士通株式会社 / 正:
〚引用文献〛
1) 誤: CF4 , O2 / 正: CF4 , O2
2) 誤: BCl3 / 正: BCl3
4) 誤: SiO2 / 正: SiO2
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