半導体を支えるプラズマエッチング装置

応用物理

Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009

ココだけのハナシ

半導体を支えるプラズマエッチング装置

黎明（れいめい）期の社内装置開発の話

中村守孝

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ジャーナルフリー

2022 年 91 巻 9 号 p. 573-577

DOI https://doi.org/10.11470/oubutsu.91.9_573

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© 2022 公益社団法人応用物理学会

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