表面分析におけるデータ解析の自動化

自動データ解析を行うためのデータ駆動型アプローチ

抄録

表面分析法は，深さ方向に原子層からマイクロメートルレベルの広いダイナミックレンジを持つ試料表層において，試料の組織や化学組成などを分析する手法である．そのため表面分析は，分析の際の試料処理やデータ解析における分析者の知識と熟練の経験を要し，計測分野の中でもデータ解析の自動化が特に困難な技術の1つとなっています．この困難さを克服してデータ解析の自動化を行うには，熟練の分析者の暗黙知となっている経験をデータ駆動型のアプローチによって明らかにすることが重要となります．本稿では，表面分析法の1つとしてX線光電子分光を対象としたデータ駆動型のアプローチによるデータ解析の自動化の実例を紹介します．