基礎講座
SIMS 測定のためのプラス α の研究技術
2023 年 92 巻 4 号 p. 235-239
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2023 年 92 巻 4 号 p. 235-239
進展著しいSIMS法についてその基礎から解説し，本分析法を利用する際の手引きとしたい．特に有機材料の評価技術として，従来技術にはない特徴を生かした新しい応用分野を切り拓(ひら)いていく際の指針となるように応用事例を紹介する．更に，最先端のSIMS装置で可能となってきた新技術についてその有用性や可能性を議論する．今や表面分析技術として欠かせないツールとなっているSIMS法の更なる展開やその研究動向について紹介する．
