電流検出ESRによるSiC中の欠陥検出のための＋α の研究技術

抄録

「半導体の点欠陥を同定したい」といったときに有力な手段となるのが電子スピン共鳴（ESR）分光である．そのESRを半導体デバイス実物で測れるようにしたのが電流検出ESR（EDMR）となる．本稿では，筆者のEDMRシステムのかなり細かいノウハウと，EDMRを利用してMOSFETデバイス内の点欠陥を検出・同定した例を紹介したい．本稿によりEDMR技術の内情や可能性を感じてもらえれば幸いである．