静電加速器は,あらゆる粒子を加速可能であること,エネルギーの広がりが極めて低いこと,粒子のエネルギーや強度を迅速に変えられる,という特徴は,加速器質量分析(Accelerator Mass Spectroscopy: AMS)をはじめとし,イオンビーム分析,高エネルギー注入において重要な役割を担ってきている.特に,電圧安定性と高ビーム強度という特性により可能となるマイクロビームやナノビームを用いた,イオンビーム分析,イオン注入,デバイス評価の研究は,今後さらに発展していくと考えられる.本編では,前半部に加速の仕組みと,高電圧を得るための電源の仕組みを述べ,高エネルギー化に向けての全体的なことを述べ,後半では,高電圧化への壁となった加速管について,いかに壁を乗り越えたかについて解説し,加速管以外の構成要素について解説する.