金属シリサイドーシリコン界面の微視的構造と電気的性質
ジャーナル
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1981 年
50 巻
8 号
p. 878-883
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発行日: 1981/08/10
受付日: -
J-STAGE公開日: 2009/02/09
受理日: 1981/05/06
早期公開日: -
改訂日: -
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