東京大学生産技術研究所
1982 年 51 巻 8 号 p. 878-882
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超高真空の作成と測定が可能になってから,莫空技術は簑面現象との結びつきを深め,清浄な蓑面の作成と維持のために使用されることが多くなった.そのため, 最近の真空技術は,超高真空において質の良い真空を作成するためのポンプ,排気系,真空容器の効果的な清浄化法,超高真空における正確な圧力測定法などの開発を申心に発展している.また,翼空系の複雑化に伸って,気相の葬等方性,非平衡性などを問題とする,真空技術基礎論ともいうべき分野が見直されてきた.
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