新しい真空装置用材料
1982 年 51 巻 8 号 p. 883-886
詳細
1982 年 51 巻 8 号 p. 883-886
最近,新材料の開発が進み,また真空装置の多様化により,種々の新しい材料が真空用として使用しはじめられている. 超高真空装置構造材料として,ルミニウム合金や,イオンプレーティング被覆,高真空材料として繊維強化プラスチックスの利用が試みられている.真空構成材料としては,耐熱性のある高分子材料,セラミックスなどもその特長を生かして,真空装置の性能をさらに高めるために使用されている.
