電子技術総合研究所
1984 年 53 巻 1 号 p. 17-25
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シンクロトロン放射光に含まれる強力な軟X線は,超LSIなどの微細パターンを量産するリソグラフィー技術に威力を発探すると期待されている.本稿は,放射光の特徴がリソグラフィーにどのように生かされるか,実用化にあたっての問題点は何か,などについて概説する.
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