低温プラズマによる金属の表面処理
1984 年 53 巻 7 号 p. 613-618
詳細
1984 年 53 巻 7 号 p. 613-618
放電などによって得られるプラズマ中の励起種やイオン種などを用いて,金属の表面処理がなされている.そのなかで比較的圧力の高い領域におけるプラズマを利用した金属の酸化および窒化による金属の表面改質,およびプラズマCVDによる被膜析出について概観し,あわせて,プラズマ中の励起種やイオン種の金属との反応,およびプラズマを利用する利点について,プラズマ診断とあわせて紹介する.
