応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
軟X線ゾーンプレートの製作
有留 宏明, 青木 仁志, 難波 進
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1984 年 53 巻 8 号 p. 719-722

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抄録
屈折率がほぼ1となる軟X線領域において,フレネルゾーンプレートは,レンズ作用を有する有力な光学素子である.本報告では電子ビームリソグラフィーによる新しいX線ゾーンプレートの製作法について述べている.反応性イオンエッチングと組み合わせることによりアスペクト比の大きい,高分解能のゾーンプレート製作が可能となる.試作したゾーンプレートによりシンクロトロン放射光を集束したところ,波長9nmで焦点距離100mmの位置で2μmのスポットに集光することができた.
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© 社団法人 応用物理学会
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