半導体微細加工技術の光学素子作成への適用

探紫外露光法による回折格子素子の試作

抄録

半導体集積回路技術の一環として発達してきた微細加工技術を利用してコンパクトで高機能かつ低廉な光挙素第を作成しようとする試みが活発化している.電子ビーム描画および深紫外光転写を用いたサブミクロン回折格子デバイスの試作例に即してリソグラフィー技術に立脚した光学素子作成の特徴と課題について述べる.