応用物理
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粒子加速器を用いる軽元素の分析
重松 俊男
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1986 年 55 巻 12 号 p. 1138-1144

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抄録

電子材料において,軽元素のキャラクタリゼーションの重要性が増加している.軽元素の分析には,荷電粒子を用いる核的分析法が,化学種によらず絶対量を定量できる点で優れている.特に,荷電粒子放射化分析は,軽元素の最も高感度な分析法の一つであり, 1ng/g までの酸素,炭素を定量できる.最近,分析専用超小型サイクロトロンが開発され,さらに信頼性の高い荷電粒子放射化分析法の開発が進められる状況にある.ここでは,荷電粒子放射化分析法の原理,加速器および化学分離法の開発状況などについて解説する.

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© 社団法人 応用物理学会
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