マイクロ波イオン源とその応用
1987 年 56 巻 8 号 p. 1025-1030
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1987 年 56 巻 8 号 p. 1025-1030
磁場中のマイクロ波放電によって発生したプラズマを利用するイオン源は,化学的に活性な物質でも効率良く安定にイオン化できるため,動作が安定で寿命が長いという特長がある.特に非共鳴の条件で動作させるものは大電流の一価イオンを得るのに適しており,工業的な応用が期待されている.イオン打込み装置など,現状での利用状況と今後の発展性について論じた.
