応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
シンクロトロン放射光励起のプロセス技術
宇理須 恒雄久良木 億
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1987 年 56 巻 8 号 p. 1035-1039

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抄録

電子シンクロトロン放射光の真空紫外光を励起光源とする,光励起プロセスの研究は,X線リソグラフィ以外の,放射光の新しい応用分野を切り開くものとして,関心が持たれている.本稿では,この新しい研究分野の最近の状況について,概要を紹介する.

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© 社団法人 応用物理学会
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