名古屋工業大学生産システム工学科
1989 年 58 巻 1 号 p. 2-20
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電子が気体原子・分子と衝突すると,弾性衝突,振動励起衝突,電離衝突などが起こる.この衝突の断面積,すなわち電子がぶつかる的の大きさはどのくらいの面積か,また電子エネルギーによってどのように変化するか,を具体例をあげて論じた.この断面積の値は,半導体VLSIの製作,ガズレーザーのモデリング,放射線物理・化学,宇宙・環境科学,気体中の電子スオームと放電現象などの基礎量として重要である.電子衝突断面積の今後の研究の進展へ向けて,筆者の研究成果を中心に,研究の現状を総合した.
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