応用物理
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ZnO系透明導電膜
南 内嗣
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1992 年 61 巻 12 号 p. 1255-1258

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抄録

近年,フラットパネル・ディスプレイや薄膜太陽電池などの開発が活発に行われるに伴って,高性能で低価格な透明導電膜の開発が強く望まれている.ここでは,新しい透明導電膜用材料として注目されているZnO系薄膜の性能および成膜技術に関する研究開発の現状を述べる.

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© 社団法人 応用物理学会
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