応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
選択成長をx利用した量子細線・量子箱の作製
福井 孝志安藤 精後
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1992 年 61 巻 2 号 p. 141-144

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抄録

有機金属気相成長法による選択成長を用いた新しい量子細線・量子ドット構造として,ファセット量子細線,ラテラル量子細線および四面体量子ドット構造を作製した.他の方法と比較した利点は,lOnm以下の半導体極微構造が,加工ひずみなしに得られることにある.

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© 社団法人 応用物理学会
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