ひずみイメージングによる強誘電体薄膜の微視的評価
1998 年 67 巻 11 号 p. 1281-1285
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1998 年 67 巻 11 号 p. 1281-1285
走査型プローブ顕微鏡(SPM)の高い王次元空間分解能を利用した高分解能強誘電体計測法とその観察結果について述べる.Pb(Zr,Ti)O3(PZT) などの大きな圧電定数をもつ強誘電体簿膜に, SPM探針を用いて電圧を印加すると,圧電性ひずみが発生し表面が変位する.この表面変位をSPMで検出し画像化することにより,圧電的強誘電的特性をとらえることができる高分解能ドメイン観察,分極方向制御,抗電場・圧電定数の定量計測などが実現できた.
