感光性樹脂を用いた自由空間光接続のためのセルフアライメント技術
1999 年 68 巻 6 号 p. 645-648
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1999 年 68 巻 6 号 p. 645-648
自由空間の光伝播に基づく光接続や光コンピューティングの研究において,空間的に離れて配置される各素子を高精度に位置合わせする手法の開発が重要課題の一つになっている.本稿は,自由空間光学系を通過した光により感光性樹脂を硬化させ,それをアライメントマークとして用いる自導光結合法を紹介している.さらに,フリップチップボンディング技術を導入した,より実用的なアライメント手法を検討している.また,これらの発展として,あらかじめ自導光結合法を適用した2ƒ光学系を組み合わせるだけで,素子のアライメント作業なしに自由空間接続光学系を構成することのできるアライメントフリー光学モジュールについて述べる.
