応用物理
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Print ISSN : 0369-8009
光電子回折による半導体表面構造解析
河野 省三
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2000 年 69 巻 10 号 p. 1157-1166

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抄録

光電子回折による固体表面構造の研究は1970年代後半より始まった.これは光電子分光による本格的な固体表面研究が始まって間がないころである.著者は,光電子回折のれい明期より本テーマに携わってきた者の一人で,その後も主にSi表面上の初期吸着構造につして光電子回折による研究を進めてきた.この研究経過を振り返ることにより,光電子回折の特徴やそれが固体構造研究で果たした役割,そして今後の展望について記述を試みた.

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© 社団法人 応用物理学会
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