ラダー電極を用いた大面積均一VHFプラズマの生成と製膜への応用
2001 年 70 巻 4 号 p. 438-442
詳細
2001 年 70 巻 4 号 p. 438-442
ラダー電極を用いてVHFプラズマを生成し,水素およびシランガスプうズマの特性をラングミュアプローブにより詳しく調べた.放電電源周波数を高くすると,電子密度は 1010cm-3 を超える.一方,電子温度は2eV以下に減少することがわかった.また,アモルファスシリコン膜の製膜速度も周波数が高くなるにつれて大きくなった.120MHzで4nm/s 以上の製膜速度が得られた.
