デバイスシミュレーション(化合物半導体)
2002 年 71 巻 10 号 p. 1286-1290
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2002 年 71 巻 10 号 p. 1286-1290
近年,化合物半導体デバイスの市場が拡大し,デバイスシミュレーターの実用化も進みつつある・ここでは,化合物半導体デバイスシミュレーションの歴史,Si系シミュレーションとの類似点,相違点に触れ,特に化合物半導体で問題となるトラップを考慮したシミュレーションおよびヘテロ接合界面のキヤリア輸送のモデル化手法にっいて述べる.また,シミュレーションの限界,効用についても触れる.
