応用物理
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化合物半導体ナノテクノロジーの現状と将来展望
横山 直樹粟野 祐二菅原 充中田 義昭大島 利雄
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2002 年 71 巻 8 号 p. 975-981

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抄録
米国の国家ナノテクノロジー戦略をきっかけとして,日本国内においてもナノテクノロジーに大きな関心が寄せられ,国のリソ-スも集まるようになってきた.名前先行で,実態が伴っていないとの批判も一部あるが,日本に漂う閉そく感を払拭するためにも,前向きにとらえ,産学官の知恵と勇気を出し合って将来の基盤技術として大きく育てあげたいものだ.そのためにも砂上の楼閣とならぬよう,地についたナノテクノロジーの研究を行う必要がある.本稿では,ナノテクノロジーのルーツともいえる化合物半導体分野のこれまでの技術経緯を述べ,ナノテクノロジ-を利用してデバイスが具現化しているHEMTや量子ドットデバイスの現状と将来展望について概観する.
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© 社団法人 応用物理学会
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