共晶点組成であるY₂O₃:2wt%とAl₂O₃:3wt%を添加したAlNセラミックスの焼結

抄録

難焼結性のAlNセラミックスは, 焼結助剤の添加により常圧で得られる。その焼結過程にて焼結助剤はAlN粉末の周囲を覆うAl₂O₃と反応し, Y-Al-O酸化物となる。これらY-Al-O酸化物の液相がAlNの焼結過程において重要な役割を果たしていると考えられているが, その詳細な過程は未だ明らかとなっていない。本研究ではY-Al-O酸化物の液相生成温度と量に注目した。すなわちY₂O₃-Al₂O₃系相図中の最低共晶点温度(1760℃)組成(Y₂O₃:Al₂O₃=2:3〔wt%〕)を助剤(1)とし, さらにはその組成を保ったまま, その量を2倍にしたものを助剤(2)とした。これら2種類の助剤がAlNに添加された時の焼結過程に及ぼす影響を調査した。