ホットプレス法による希土類混合酸化物-SiO₂添加SiC焼結体の作製と評価

抄録

希土類酸化物系焼結助剤はSiCの焼結助剤として有効である。そこで本研究では、ガラス研磨などに用いられる希土類混合酸化物(Re₂O₃)を助剤として添加し、ホットプレス法によりSiC焼結体を作製し、その機械的特性の評価および微構造観察を行った。得られた焼結体は、希土類混合酸化物の添加量が増すほど開気効率が低下した。曲げ強度は焼結温度2050℃、助剤組成Re₂O₃:SiO₂=100:0において540MPaと最大となったが、強度のばらつきが大きかった。微構造観察の結果、焼結体の内側と外側で組成の差が見られた。