化学溶液析出法によって作製したPZT膜の圧電特性

抄録

スピンコーティング法により組成がPb_1+α(Zr_0.5, Ti_0.5)O₃であるPZT厚膜をITO/Corning#1737およびPt/Ti/SiO₂/Si基板上に作製した。コーティング—乾燥—熱処理を繰り返し、その結果、5回繰り返しコーティングすることにより、約7μmのPZT厚膜を得た。圧電測定をする前に、作製した膜を電圧10kV/mmでポーリングした。PZT膜の圧電特性をマイクロレーザー干渉計とロックインアンプを用いて測定した。ITO/#1737上に700℃の熱処理で作製した膜のd33定数は50-220pm/Vであった。