抄録
PZT組成のCSD溶液(Pb(CH3COO)23H2O, Ti(C3H7O)4 and Zr(C4H9O)4)に, 同溶液から作成したPbTiO3組成をもつ部分加水分解前駆体超微粒子(粒径10∼30nm, 以下, シード微粒子)を混合し, さらにPbTiO3シード層を下部電極上に形成(以下, シード層)すると, PZT薄膜の結晶化温度が低下し, 電気特性も改善することを見いだした. 450℃ではシード粒子, シード層を用いると始めて結晶化した. シード層はシード微粒子よりも結晶化の度合いが高く, シード層とシード微粒子を併用したとき最も結晶化が良い. しかしながら, 450℃では強誘電性は発現せず, 475℃では, シード無しでは強誘電性を示さず, シード微粒子では僅かに. シード層では強誘電性を示す. さらに, 両者を組み合わせるとすぐれた強誘電性を示し, 低温化が達成された.
