SEMによるイットリアの仮焼過程における形状変化の観察

抄録

入射電子が試料を通り抜ける現象を仮焼過程で起こる形状変化の観察に利用する。このキーとなる技術は、最初に撮った写真を参考にして観察場所を探すさいに、倍率の小さい視野から始めることである。仮焼過程における硫酸イオン添加イットリアの粒成長は表面拡散で進むというデータを得た。