キレート安定化水溶液からのc面配向チタニア薄膜の作製

抄録

乳酸を含む水溶液にチタンテトライソプロポキシドを加え、さらにアンモニア水を添加して透明水溶液を得た。この水溶液から均一で屈折率2.3∼2.4のアナターゼ膜が得られた。この膜は強いC面配向性を示し、特に700℃で熱処理した場合において強い配向性がみられた。また熱処理温度600℃では、配向性に対する基板の種類の影響は認められなかった。従ってC面配向は、溶液中の溶存種の配位構造と関係があると考えられる。