レーザーアブレーション法によるAu微粒子分散TiO₂薄膜の作製と光学特性

抄録

Au粉末を分散させたTiO₂焼結体ターゲットを用い、レーザーアブレーション法によりAu微粒子を分散させたTiO₂薄膜(Au: TiO₂薄膜)を作製した。膜中のAu含有量はターゲットの組成により制御することが出来た。成膜したままの薄膜中に分散させたAu微粒子の平均粒径は1.2nmであり、900℃での熱処理により4.0nmまで増加した。熱処理によりAu微粒子の表面プラズモン共鳴に起因する光吸収ピークが630nmの波長域に観測された。Au微粒子とTiO₂母相の結晶化により、光吸収ピークでの吸収係数は増加し、吸収ピーク波長は長波長側にシフトした。