ITO透明導電膜の低温製膜可能性検討:

インジウム有機酸塩系塗布膜原料の低温熱分解

抄録

高濃度の水蒸気雰囲気中でギ酸インジウムなど4種類のインジウム有機酸塩の熱分解挙動を示差熱天秤-質量分析法(TG-MS)およびX線回折-示差走査熱量計同時測定装置(XRD-DSC)に、水蒸気発生装置を組み合わせて測定した。塩基性2-エチルヘキサン酸インジウムは常圧乾燥ガス雰囲気では、100-350℃で2段階の分解反応を示す。一方高濃度水蒸気雰囲気中では、熱分解により結晶性のよい酸化インジウムが300℃以下の低温で得られることがわかり、ITO膜の低温製膜法として期待できる。