局所気孔率に基づく窒化アルミニウムの焼結不均一性の解析

抄録

窒化アルミニウムの焼結に及ぼす粗大粒子の影響について検討した。AlNの緻密化は粗大粒子の添加により抑制された。大きな気孔が粗大粒子近傍に観察された。粗大粒子近傍における局所気孔率は他の領域よりも高い値を示した。この気孔は焼結中に成長していくことがわかった。この現象は成形体密度の不均一だけでなく、粗大粒子近傍の酸素の不足により生じるものと推測した。